Журнал
ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ «ПРИБОРОСТРОЕНИЕ»
УДК:681.5
Номер:10 (59)
Скачать PDF446 Кбайт
ДИНАМИЧЕСКАЯ МОДЕЛЬ КОНЦЕНТРАЦИИ ПЫЛИ ДЛЯ САУ ПРОИЗВОДСТВОМ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ
Аннотация:
Рассматривается уточненная модель динамики климатического параметра — концентрации пыли — в воздухе чистого помещения при производстве микроэлектроники. Представленное математическое описание параметра позволяет построить адекватную имитационную модель климатической динамической системы. На основе разработанной модели в среде MatLab получены результаты, подтверждающие эффективность использования нечеткого регулирования при управлении климатической динамической системой в условиях непрогнозируемых возмущений, когда традиционные ПИД-регуляторы теряют устойчивость.
Ключевые слова:
Постоянный URL
Статьи в номере
- МОНИТОРИНГ И ПРОГНОЗИРОВАНИЕ СОСТОЯНИЯ КОМПЬЮТЕРНЫХ СЕТЕЙ НА ОСНОВЕ ПРИМЕНЕНИЯ ГИБРИДНЫХ НЕЙРОННЫХ СЕТЕЙ
- МОДЕЛИРОВАНИЕ ОДНОКАНАЛЬНЫХ НЕСТАЦИОНАРНЫХ СИСТЕМ ОБСЛУЖИВАНИЯ, ПРЕДСТАВЛЕННЫХ ЦИКЛИЧЕСКИМ ГРАФОМ СОСТОЯНИЙ
- МЕТОДИКА ВИЗУАЛИЗАЦИИ ТОПОЛОГИИ КОМПЬЮТЕРНОЙ СЕТИ ДЛЯ МОНИТОРИНГА БЕЗОПАСНОСТИ
- КОРРЕКЦИЯ СВОЙСТВ СИСТЕМЫ АВТОМАТИЧЕСКОГО УПРАВЛЕНИЯ ПУТЕМ ПРЕОБРАЗОВАНИЯ ЗАДАЮЩЕГО ВОЗДЕЙСТВИЯ
- МЕТОДИКА РАСПРЕДЕЛЕНИЯ ПРИКЛАДНЫХ ЗАДАЧ ПО ВИРТУАЛЬНЫМ МАШИНАМ С УЧЕТОМ НАДЕЖНОСТИ ИХ РЕШЕНИЯ
- СИНТЕЗ РЕКУРСИВНЫХ ДИСКРЕТНЫХ СИСТЕМ ВО ВРЕМЕННОЙ ОБЛАСТИ
- МАНЕВРИРОВАНИЕ КОСМИЧЕСКИМ АППАРАТОМ С ЦЕЛЬЮ УЛУЧШЕНИЯ ХАРАКТЕРИСТИК НАБЛЮДЕНИЯ ЛОКАЛЬНОГО РАЙОНА ПОВЕРХНОСТИ ЗЕМЛИ
- РАЗРАБОТКА МАТЕМАТИЧЕСКИХ МОДЕЛЕЙ ДИНАМИКИ УПРУГИХ МЕМБРАННЫХ ЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ СИСТЕМ УПРАВЛЕНИЯ
- СИСТЕМА ТРЕХМЕРНОЙ ТОМОГРАФИЧЕСКОЙ ДИАГНОСТИКИ ПАРАМЕТРОВ ПЛАЗМЕННЫХ ОБРАЗОВАНИЙ В УСЛОВИЯХ БЛИЖНЕГО КОСМОСА
- УВЕЛИЧЕНИЕ ЗОНЫ ПРОСВЕТЛЕНИЯ ОПТИЧЕСКОГО ЭЛЕМЕНТА МАЛОГО РАДИУСА ПУТЕМ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ С ЗАДАННЫМ РАСПРЕДЕЛЕНИЕМ ТОЛЩИНЫ
- ПОДХОД К СОЗДАНИЮ РАСШИРЕННОГО ПРЕДПРИЯТИЯ ДЛЯ ВЫПУСКА ИННОВАЦИОННОЙ ПРОДУКЦИИ
- ПРИМЕНЕНИЕ ТАБЛИЧНОГО ПРОЦЕССОРА ДЛЯ РЕШЕНИЯ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ЗАДАЧ
- ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНАЯ УСТАНОВКА ДЛЯ ИССЛЕДОВАНИЯ ЭФФЕКТИВНОСТИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ФОТОЭЛЕКТРОДОВ ГЕНЕРАТОРА ВОДОРОДА
- КОДОВАЯ ШКАЛА