Например, Бобцов

ОСОБЕННОСТИ ФОРМИРОВАНИЯ МАКРОПОРИСТЫХ КРЕМНИЕВЫХ ЭЛЕКТРОДОВ ДЛЯ ПОРТАТИВНЫХ ТОПЛИВНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ

Аннотация:

Сформулированы требования, предъявляемые к электродам микротопливных элементов на основе макропористого кремния. Разработана технологическая цепочка получения кремниевых электродов,  включающая в качестве основных этапов процессы: анодирования, вскрытия пор и глубокого диффузионного легирования. Изучены особенности каждой технологической стадии.

Ключевые слова:

Статьи в номере