ЛОКАЛЬНОЕ ЛАЗЕРНОЕ ИСПАРЕНИЕ ПЛЕНОК СЛОЖНЫХ ТОПОЛОГИЙ ЧУВСТВИТЕЛЬНОГО ЭЛЕМЕНТА МИКРОГИРОСКОПА НА ПОВЕРХНОСТНЫХ АКУСТИЧЕСКИХ ВОЛНАХ
Аннотация:
Разработан метод локального лазерного испарения пленки чувствительного элемента твердотельного микрогироскопа на поверхностных акустических волнах. Осуществлен выбор конструкции чувствительного элемента микрогироскопа с использованием схемы с двойным преобразованием. Показано, что при лазерном испарении исключается минимум три технологические операции по сравнению с методом фотолитографии. Представлены результаты исследований формирования топологий с использованием лазерной обработки. Определены параметры процесса лазерной обработки для конфигурирования топологии чувствительного элемента путем испарения тонкопленочного покрытия толщиной 400 нм, который включает в себя 350 нм алюминия и 50 нм адгезионного слоя ванадия, которые нанесены на подложку из пьезокварца. Получена амплитудно-частотная характеристика изготовленного образца. Выявлено, что экспериментальный образец обладает высокой величиной потерь, обусловленных погрешностями технологии его изготовления. Выработаны рекомендации по минимизации источников погрешностей технологии изготовления чувствительного элемента микрогироскопа на поверхностных акустических волнах при использовании метода лазерного конфигурирования.
Ключевые слова:
Постоянный URL
Статьи в номере
- О СОВРЕМЕННОМ ПОДХОДЕ К ПРОЕКТИРОВАНИЮ БЕСПИЛОТНЫХ ЛЕТАТЕЛЬНЫХ АППАРАТОВ САМОЛЕТНОГО ТИПА С КОРОТКИМ ВЗЛЕТОМ И ПОСАДКОЙ. ЧАСТЬ III. ЧИСЛЕННОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ВИХРЕВОЙ АЭРОДИНАМИКИ ЛЕТАТЕЛЬНОГО АППАРАТА МЕТОДОМ ДИСКРЕТНЫХ ВИХРЕЙ
- РАСПРЕДЕЛЕНИЕ АМПЛИТУДЫ ОПТИЧЕСКОГО ПОЛЯ НА ТРАНСПАРАНТЕ ОПТИКО-ЭЛЕКТРОННОЙ СИСТЕМЫ ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ ВИБРОПОДСТАВКИ В ЛАЗЕРНОМ ГИРОСКОПЕ
- ВЫБОР ПАРАМЕТРОВ ОПТИКО-ЭЛЕКТРОННЫХ СИСТЕМ КОНТРОЛЯ СМЕЩЕНИЙ С АКТИВНЫМИ РЕПЕРНЫМИ МАРКАМИ
- МЕТОД КОНТРОЛЯ ДЕФОРМАЦИЙ КОМПОЗИТНЫХ КОНСТРУКЦИОННЫХ ЭЛЕМЕНТОВ С ПОМОЩЬЮ ВОЛОКОННО-ОПТИЧЕСКОГО ДАТЧИКА АКУСТИЧЕСКОЙ ЭМИССИИ
- ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ СТАНДАРТ ЧАСТОТЫ НА ЛИНИИ P(16) ИЗОТОПА АЦЕТИЛЕНА СО СТАБИЛИЗАЦИЕЙ ПО ТЕМПЕРАТУРЕ ФАЗОМОДУЛЯЦИОННЫМ МЕТОДОМ
- УПРАВЛЕНИЕ ЭЛЕКТРИЧЕСКИМ ГЕНЕРАТОРОМ В УСЛОВИЯХ ВЫСОКОЧАСТОТНЫХ ПОМЕХ ИЗМЕРЕНИЯ
- ПЕРЕНОС ЗНАНИЙ В ЗАДАЧЕ АВТОМАТИЧЕСКОГО РАСПОЗНАВАНИЯ РУССКОЙ РЕЧИ В ТЕЛЕФОННЫХ ПЕРЕГОВОРАХ
- ОБРАБОТКА И АНАЛИЗ ЗВУКОВОЙ И ВИЗУАЛЬНОЙ СОСТАВЛЯЮЩИХ РЕЧИ НА ОСНОВЕ ПРОЕКЦИОННЫХ МЕТОДОВ
- ПОВЫШЕНИЕ ЭФФЕКТИВНОСТИ МЕТОДА КОДИРОВАНИЯ ВНУТРИКАДРОВЫМ ПРЕДСКАЗАНИЕМ В СТАНДАРТЕ H.265/HEVC
- ПРИМЕНЕНИЕ СЕМАНТИЧЕСКОЙ МОДЕЛИ БАЗЫ ДАННЫХ ПРИ РЕАЛИЗАЦИИ ЕСТЕСТВЕННО-ЯЗЫКОВОГО ПОЛЬЗОВАТЕЛЬСКОГО ИНТЕРФЕЙСА
- ОРГАНИЗАЦИЯ ЦИФРОВЫХ ПРОИЗВОДСТВ ИНДУСТРИИ 4.0 НА ОСНОВЕ КИБЕРФИЗИЧЕСКИХ СИСТЕМ И ОНТОЛОГИЙ
- ПОДХОД К ВЫБОРУ ИНФОРМАТИВНОГО ПРИЗНАКА В ЗАДАЧЕ ИДЕНТИФИКАЦИИ ПРОГРАММНОГО ОБЕСПЕЧЕНИЯ
- МЕТОДОЛОГИЯ ПРОЕКТИРОВАНИЯ, РАЗРАБОТКИ И СОПРОВОЖДЕНИЯ ДОМЕННЫХ СЕМАНТИЧЕСКИХ ПОРТАЛОВ НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЙ ИНФОРМАЦИИ
- ИСПОЛЬЗОВАНИЕ МЕТОДОВ МАШИННОГО ОБУЧЕНИЯ ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ НАРУШЕНИЙ ЦЕЛОСТНОСТИ JPEG-ИЗОБРАЖЕНИЙ
- ОБЪЕКТНО-ПРОЦЕССНАЯ МОДЕЛЬ ДАННЫХ ДЛЯ СЕРВИС-ОРИЕНТИРОВАННОЙ АРХИТЕКТУРЫ ИНТЕГРИРОВАННЫХ ИНФОРМАЦИОННЫХ СИСТЕМ
- ЗАДАЧИ АНАЛИЗА ЗАЩИЩЕННОСТИ ПОЛЬЗОВАТЕЛЕЙ ОТ СОЦИОИНЖЕНЕРНЫХ АТАК: ПОСТРОЕНИЕ СОЦИАЛЬНОГО ГРАФА ПО СВЕДЕНИЯМ ИЗ СОЦИАЛЬНЫХ СЕТЕЙ
- ОПТИМАЛЬНАЯ МАТЕМАТИЧЕСКАЯ МОДЕЛЬ ДЛЯ ОПИСАНИЯ ФИЗИЧЕСКИХ ЯВЛЕНИЙ И ПРОЦЕССОВ
- МЕТОД СИНТЕЗА СХЕМОТЕХНИЧЕСКИХ МОДЕЛЕЙ ЦИФРО-АНАЛОГОВЫХ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ ДЛЯ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ
- ВРЕМЕННОЙ АНАЛИЗ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ С УЧЕТОМ МОДЕЛЕЙ КОНТАКТНЫХ ПЛОЩАДОК И ПРОВОДНИКОВ РАЗВАРКИ
- ПОВЫШЕНИЕ ТОЧНОСТИ АВТОМАТИЧЕСКОГО РАСПОЗНАВАНИЯ ВИЗУАЛЬНОЙ РУССКОЙ РЕЧИ: ОПТИМИЗАЦИЯ ВИЗЕМНЫХ КЛАССОВ
- ОБЪЕДИНЕНИЕ ПРИЗНАКОВ В ЗАДАЧЕ ОБУЧЕНИЯ НЕЙРОСЕТЕВЫХ АКУСТИЧЕСКИХ МОДЕЛЕЙ