Например, Бобцов

ОПТИКО–ГЕОМЕТРИЧЕСКИЙ МЕТОД ИССЛЕДОВАНИЯ НАПРЯЖЕННО-ДЕФОРМИРОВАННЫХ СОСТОЯНИЙ ЭЛЕМЕНТОВ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ И МИКРОСЕНСОРНОЙ ТЕХНИКИ

Аннотация:

На базе поляризационно-оптического метода предлагается оптико-геометрический метод определения напряженно-деформированных состояний элементов микроэлектроники и микросенсорной техники. Статья подготовлена по результатам НИР “Разработка неразрушающих бесконтактных оптических методов исследования стереометрии и внутренних структурных дефектов элементной базы микроэлектроники и микросенсорной техники”

Ключевые слова:

Статьи в номере