Журнал
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики
УДК:621.315.592; 621.382002
Номер:1 (83)
Скачать PDF0 Кбайт
ВЛИЯНИЕ ПРОЦЕССА ЛАЗЕРНОГО МИКРОСТРУКТУРИРОВАНИЯ НА ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ СИСТЕМЫ SiO2/Si
Аннотация:
Исследованы электрофизические параметры системы SiO2/Si после облучения импульсным иттербиевым волоконным лазером типа ИЛИ-1-50. Показано, что при воздействии лазерного излучения в системе кремний–окисел происходит образование дефектов, ответственных за появление различного рода зарядов. Обнаружено, что лазерно-индуцированные дефекты появляются и на участках, удаленных от зоны облучения. Установлено, что скорость генерации дефектов на границе раздела кремний–окисел зависит от их энергетического расположения в запрещенной зоне кремния и достигает максимального значения вблизи уровня Ферми.
Ключевые слова:
Постоянный URL
Статьи в номере
- АДАПТИВНОЕ УПРАВЛЕНИЕ ПО ВЫХОДУ: ПРОБЛЕМАТИКА, ПРИКЛАДНЫЕ ЗАДАЧИ И РЕШЕНИЯ
- УПРАВЛЕНИЕ НЕЛИНЕЙНЫМ ПАРАМЕТРИЧЕСКИ НЕ ОПРЕДЕЛЕННЫМ ОБЪЕКТОМ С ВХОДНЫМ ЗАПАЗДЫВАНИЕМ
- СУБОПТИМАЛЬНОЕ УПРАВЛЕНИЕ НЕЛИНЕЙНЫМИ МУЛЬТИАГЕНТНЫМИ СИСТЕМАМИ
- ИССЛЕДОВАНИЕ УСТОЙЧИВОСТИ ДИНАМИЧЕСКИХ СИСТЕМ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ СВОЙСТВ ПОТОКА ВЕКТОРА ФАЗОВОЙ СКОРОСТИ ЧЕРЕЗ ЗАМКНУТУЮ ВЫПУКЛУЮ ПОВЕРХНОСТЬ
- ГИБРИДНЫЙ АЛГОРИТМ ИДЕНТИФИКАЦИИ ЧАСТОТ МУЛЬТИСИНУСОИДАЛЬНОГО СИГНАЛА
- ИНТЕГРО-ДИФФЕРЕНЦИРУЮЩИЕ АЛГОРИТМЫ СКОРОСТНОГО ГРАДИЕНТА В ЗАДАЧАХ КРАТНОЙ СИНХРОНИЗАЦИИ ВИБРАЦИОННЫХ УСТАНОВОК
- РОБАСТНОЕ УПРАВЛЕНИЕ РОБОТОМ-МАНИПУЛЯТОРОМ В ДИСКРЕТНОМ ВРЕМЕНИ
- АНАЛИЗ И ОБРАБОТКА СИГНАЛОВ ЭЛЕКТРОМИОГРАММЫ
- ВНЕДРЕНИЕ КОМПЛЕКСОВ ПРОМЫШЛЕННЫХ МАНИПУЛЯЦИОННЫХ РОБОТОВ В ОБРАЗОВАТЕЛЬНЫЙ ПРОЦЕСС
- ВОПРОСЫ ОПТИМИЗАЦИИ ПРИМЕНЕНИЯ БЕСПИЛОТНЫХ ЛЕТАТЕЛЬНЫХ АППАРАТОВ ДЛЯ ПОИСКА И СЛЕЖЕНИЯ ОБЪЕКТОВ
- ГОМОГЕНИЗАТОРЫ ЛАЗЕРНОГО ИЗЛУЧЕНИЯ, ИЗГОТОВЛЕННЫЕ МЕТОДОМ ЛАЗЕРНОЙ ГРАВИРОВКИ ПОЛИМЕРНЫХ ПЛЕНОК
- ХАРАКТЕРИСТИКИ МЕТАПЛЕНОК ДЛЯ ТЕРАГЕРЦОВОГО ДИАПАЗОНА ЧАСТОТ ПРИ МАСШТАБИРОВАНИИ ГЕОМЕТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ
- ВОЗДЕЙСТВИЕ ТЕРАГЕРЦОВОГО ИЗЛУЧЕНИЯ НА РОСТ НЕЙРИТОВ
- ФЕМТОСЕКУНДНОЕ ФОТОННОЕ ЭХО НА НЕОДНОРОДНЫХ ПО РАЗМЕРУ КВАНТОВЫХ ТОЧКАХ ОКСИДА ЦИНКА ПРИ КОМНАТНОЙ ТЕМПЕРАТУРЕ
- ПОГРЕШНОСТИ МОДЕЛИРОВАНИЯ ВЫСОКОНАГРУЖЕННЫХ СИСТЕМ В GPSS WORLD
- ИЕРАРХИЯ ГЛОБАЛЬНЫХ СТРУКТУР АЛГЕБРАИЧЕСКОЙ БАЙЕСОВСКОЙ СЕТИ КАК СИСТЕМА ГРАФОВ И ГИПЕРГРАФОВ
- ИЗВЛЕЧЕНИЕ И РАНЖИРОВАНИЕ КЛЮЧЕВЫХ ФРАЗ В ЗАДАЧЕ АННОТИРОВАНИЯ
- ВЕРИФИКАЦИЯ ДАННЫХ В СИСТЕМАХ ОТСЛЕЖИВАНИЯ ЗАДАЧ С ПОМОЩЬЮ ПРОДУКЦИОННЫХ ПРАВИЛ
- АГЛОМЕРАТИВНАЯ КЛАСТЕРИЗАЦИЯ РЕЧЕВЫХ СЕГМЕНТОВ ФОНОГРАММЫ НА ОСНОВЕ БАЙЕСОВСКОГО ИНФОРМАЦИОННОГО КРИТЕРИЯ
- ПРОГРАММНАЯ СИСТЕМА И ИНФОРМАЦИОННЫЙ БАНК МЕТАДАННЫХ ТРЕТИЧНЫХ СТРУКТУР БЕЛКОВ
- АНАЛИЗ ЧАСТОТЫ ПОВТОРЕНИЙ RLE-БЛОКОВ В СЕМЕЙСТВАХ БИНАРНЫХ КОДОВ, НАИЛУЧШИХ ПО МИНИМАКСНОМУ КРИТЕРИЮ АВТОКОРРЕЛЯЦИОННОЙ ФУНКЦИИ
- МИНИМАЛЬНАЯ МОДИФИКАЦИЯ АВТОМАТНЫХ ПРОГРАММ ПРИ ИЗМЕНЕНИИ СЦЕНАРИЕВ ИХ РАБОТЫ
- ФАЗОВО-ГРАДИЕНТНЫЙ МЕТОД ИЗМЕРЕНИЯ МАГНИТНОГО ПОЛЯ В ЭЛЕКТРОМОБИЛЕ
- ГАЛЬВАНОМАГНИТНЫЕ СВОЙСТВА ТОНКИХ ПЛЕНОК ВИСМУТА, ЛЕГИРОВАННОГО ТЕЛЛУРОМ, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ ТЕРМИЧЕСКОГО ИСПАРЕНИЯ В ВАКУУМЕ
- ПРИМЕНЕНИЕ СИМПЛЕКС-МЕТОДА И МЕТОДА ИСКУССТВЕННОГО БАЗИСА ПРИ ПРОЕКТИРОВАНИИ БОРТОВОГО ПРИБОРНОГО ОБОРУДОВАНИЯ
- АНАЛИЗ МЕТОДИК ПРОЕКТИРОВАНИЯ БЕСПРОВОДНЫХ СЕНСОРНО-АКТУАТОРНЫХ СЕТЕЙ
- ИСПОЛЬЗОВАНИЕ МЕТОДОВ МОДЕЛИРОВАНИЯ ЭВОЛЮЦИИ ДЛЯ ОПТИМИЗАЦИИ ДОКУМЕНТООБОРОТА НА ПРЕДПРИЯТИИ
- ОЦЕНКА РИСКОВ ИНФОРМАЦИОННОЙ БЕЗОПАСНОСТИ В ОБЛАЧНЫХ СЕРВИСАХ НА ОСНОВЕ ЛИНЕЙНОГО ПРОГРАММИРОВАНИЯ
- АЛГОРИТМ КОНТРОЛЯ ЦЕЛОСТНОСТИ ДЕПЕРСОНАЛИЗИРОВАННЫХ ДАННЫХ В ИНФОРМАЦИОННЫХ СИСТЕМАХ ПЕРСОНАЛЬНЫХ ДАННЫХ
- СИСТЕМА ПРЕДОТВРАЩЕНИЯ ЧРЕЗВЫЧАЙНЫХ СИТУАЦИЙ НА ЖЕЛЕЗНОЙ ДОРОГЕ НА БАЗЕ ГЕОИНФОРМАЦИОННЫХ ТЕХНОЛОГИЙ
- ЦИФРОВЫЕ ВОДЯНЫЕ ЗНАКИ В ГРАФИЧЕСКИХ ФАЙЛАХ
- МЕТОДИЧЕСКИЕ ПОЛОЖЕНИЯ ОЦЕНКИ ЭФФЕКТИВНОСТИ ДЕЯТЕЛЬНОСТИ ТЕЛЕКОММУНИКАЦИОННОГО ПРЕДПРИЯТИЯ
- ИННОВАЦИОННАЯ ДЕЯТЕЛЬНОСТЬ СУБЪЕКТОВ БАНКОВСКОЙ СИСТЕМЫ КАК ФОРМА РЕАЛИЗАЦИИ ЭКОНОМИЧЕСКИХ ИНТЕРЕСОВ
- АРХИТЕКТУРА ЛИНГВИСТИЧЕСКОГО ТРЕНАЖЕРА ДЛЯ ЭКСПРЕСС-ОСВОЕНИЯ НАВЫКОВ ОБЩЕНИЯ НА ИНОСТРАННОМ ЯЗЫКЕ