Поиск первоначального приближения при решении обратных задач в эллипсометрии и спектрофотометрии
Аннотация:
Рассмотрен подход к поиску первоначальных условий при решении обратных оптических задач по определению показателей преломления и толщины диэлектрических пленок на подложках. Предлагается использование спектров отражения, полученных при разных углах падения света на образец, из которых по местоположению экстремумов интенсивности вычисляются показатели преломления и толщина пленок. В монохроматической нулевой эллипсометрии измерение параметров по-ляризации света при разных углах падения позволяет для каждого угла определить показатель преломления и эллипсометрическую толщину. Первоначальное приближение толщины для решения обратной задачи в эллипсометрии на основе данных для всех использованных углов падения света на образец получается из оптической толщины пленки, определенной по спектрам отражения при малых углах падения.
Ключевые слова:
Постоянный URL
Статьи в номере
- Особенности формирования штарковского эха при различных величинах градиентов внешних неоднородных электрических полей
- Особенности образования лазерного факела алюминия при наличии фонового газа
- Одноэлементный трехдиапазонный спектроделитель
- Оптическая система регистрации для проточно-оптического метода анализа биоаэрозолей
- Анализ и оптимизация параметров интерференционного волоконно-оптического микрофона
- Пленочные пассивные оптические затворы для защиты приемников изображения от ослепления
- Исследование угловых погрешностей круговых оптических шкал, изготовленных с использованием лазерного генератора изображений CLWS-300
- Четвертьволновая пластинка в фурье-спектрометре
- Оптический метод контроля углового распределения волокон в плоских волокносодержащих материалах
- Лазерная керамика. 2. Спектроскопические и генерационные свойства
- Влияние начального угла наклона директора двухчастотного жидкого кристалла на электрооптические характеристики ячеек
- Исследование фотолюминофоров для светодиодов белого цвета свечения
- Люминесцентное исследование алюминатов иттрия, легированных неодимом
- Исследование материалов для защиты выходных зеркал полупроводниковых лазеров на основе AlGaAs/GaAs-гетероструктур
- Евгений Александрович Иозеп (к 75-летию со дня рождения)
- Галина Аркадьевна Волкова