Журнал
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики
УДК:53.084.2
Номер:4 (74)
Скачать PDF0 Кбайт
Проведено исследование устойчивости вольфрамового зонда под действием продольного механического напряжения, возникающего при работесканирующего зондового микроскопав режимах динамической силовой литографии и наноиндентирования. В рамках предложенной теоретической модели получено выражение для критической силы продольного сжатия, превышение которой приводит к потере устойчивости и изгибу зонда. Представлены экспериментальные данные, полученные в сканирующем зондовом микроскопе с пьезорезонансным датчиком силового взаимодействия, демонстрирующие устойчивое и неустойчивое поведение вольфрамового зонда при наноиндентированиии динамической силовой литографии поверхности образца из поликарбоната.