Например, Бобцов

ИССЛЕДОВАНИЕ СВОЙСТВ ПЛЕНОК, ПОЛУЧЕННЫХ СОВМЕСТНЫМ ИСПАРЕНИЕМ ДВУХ ДИЭЛЕКТРИКОВ ЧЕРЕЗ ДИАФРАГМУ

Аннотация:

Описано формирование интерференционных диэлектрических покрытий с из- меняющимися по радиальной координате показателем преломления и толщиной. Такие покрытия могут быть получены при одновременном осаждении пленкообра- зующих веществ из двух испарителей с разной скоростью через диафрагму, рас- положенную параллельно плоскости испарителей. Исследовано распределение показателя преломления покрытия, образованного при одновременном испарении двух пленкообразующих веществ из источников, находящихся на разных расстоя- ниях от оси вращения подложки. Представлены экспериментальные данные о пока- зателе преломления пленок при совместном испарении двух оксидов. Показано, что форм-факторы этих пар отличаются: у оксидов титана и кремния он равен единице, а у оксидов гафния и кремния равен нулю.

Читать текст статьи

Ключевые слова:

Статьи в номере