Например, Бобцов

ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ ПАРАМЕТРОВ ИСХОДНОГО МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ И УСЛОВИЙ ТРАВЛЕНИЯ НА ФОРМИРОВАНИЕ СЛОЕВ НАНОПОРИСТОГО КРЕМНИЯ

Сборник тезисов
Конференция:II Всероссийский конгресс молодых ученых
Раздел:Сборник тезисов докладов конгресса молодых ученых. Выпуск 2
Рубрика:ФИЗИКА ТВЕРДОГО ТЕЛА И МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЕ
Год:2013

ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ ПАРАМЕТРОВ ИСХОДНОГО МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ И УСЛОВИЙ ТРАВЛЕНИЯ НА ФОРМИРОВАНИЕ СЛОЕВ НАНОПОРИСТОГО КРЕМНИЯ

УДК:621.315.594

Аннотация

<p>Предыдущие исследования образования слоев нанопористого кремния (НК) в ходе<br /> электролитического травления в растворах фтористоводородной кислоты позволили<br /> сформулировать несколько теорий возможного образования слоев НК. Данные теории в<br /> большей или меньшей степени рассматривали химический аспект взаимодействий ионов в<br /> растворе с монокристаллическим кремнием, ведущие к образованию пористого слоя.<br /> Основной упор при этом делался на формирование самого массива слоя НК. При этом<br /> вопрос, связанный с начальной стадией процесса зарождения пор оставался открытым. В<br /> основном этот аспект был сведен к случайному зарождению пор так или иначе связанных с<br /> различными поверхностными дефектами. Однако такой подход оставляет слишком большую<br /> неопределенность в этом вопросе.<br /> Таким образом, целью исследований было изучение влияния различных факторов на<br /> процесс зарождения наноразмерных пор в кремнии в ходе электролитического травления.</p>

Материалы конференций