Например, Бобцов

РАСЧЕТ ЛОКАЛЬНОГО ЛАЗЕРНОГО ОКИСЛЕНИЯ ТОНКИХ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛЕНОК

Сборник тезисов
Конференция:II Всероссийский конгресс молодых ученых
Раздел:Сборник тезисов докладов конгресса молодых ученых. Выпуск 2
Рубрика:ФИЗИКА ТВЕРДОГО ТЕЛА И МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЕ
Год:2013

РАСЧЕТ ЛОКАЛЬНОГО ЛАЗЕРНОГО ОКИСЛЕНИЯ ТОНКИХ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛЕНОК

Кулажкин Андрей Михайлович, Синев Дмитрий Андреевич
УДК:544.032.65
Скачать PDF

Аннотация

<p>Термохимическое действие лазерного излучения на тонкие пленки является основой<br /> целого ряда технологических процессов формирования пленочных элементов и структур в<br /> оптике, микроэлектронике, информационных системах и т.п. В последние годы интерес к<br /> этому направлению возрос вследствие ужесточения требований к разрешающей способности<br /> и размерам получаемых элементов.</p>

Постоянный URL

Материалы конференций

Содержание © 1993–2024 Университет ИТМО
Разработка © 2015 Университет ИТМО