РАСПРЕДЕЛЕНИЕ ДИСЛОКАЦИЙ В КРИСТАЛЛАХ AlN ПРИ ВЫРАЩИВАНИИ НА ИСПАРЯЕМЫХ ПОДЛОЖКАХ SiC
Аннотация:
С помощью высокоразрешающей рентгеновской дифрактометрии и топографии в синхротронном излучении исследовано распределение дислокаций в кристаллах AlN, выращенных на испаряемых подложках SiC. Выращивание слоя AlN в одном процессе с испарением подложки SiC позволило предотвратить релаксацию термоупругих напряжений при остывании структуры путем растрескивания AlN. Сплошные кристаллические пластины толщиной 0,2–1,5 мм были использованы в качестве модельных объектов для изучения дислокационной структуры вблизи интерфейса между AlN и SiC. Анализ ширины пиков брэгговских отражений, формы карт рассеяния в обратном пространстве и топограмм показал, что дислокации формируют мозаичную структуру, принципиально отличную от распределения прорастающих дислокаций в эпитаксиальных пленках GaN. В работе рассмотрена теоретическая модель релаксации напряжений несоответствия в растущем слое AlN. Полученные результаты позволяют уточнить представления о дислокационных процессах при выращивании кристаллов AlN промышленного качества методом сублимации.
Ключевые слова:
Постоянный URL
Статьи в номере
- СУПЕРКОМПЬЮТЕРНОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ КРИТИЧЕСКИХ ЯВЛЕНИЙ В СЛОЖНЫХ СОЦИАЛЬНЫХ СИСТЕМАХ
- КОМПРЕССИЯ ПРЕДЕЛЬНО-КОРОТКИХ ИМПУЛЬСОВ СВЕТА И ГЕНЕРАЦИЯ ОДНОПОЛЯРНЫХ ИМПУЛЬСОВ ЗА СЧЕТ КОГЕРЕНТНОГО ВЗАИМОДЕЙСТВИЯ С РЕЗОНАНСНОЙ НЕЛИНЕЙНОЙ СРЕДОЙ
- ЛИДАРНЫЙ УЗЕЛ КОМБИНИРОВАННОГО СКАНИРОВАНИЯ
- СТРУЙНАЯ ПЕЧАТЬ ВЫСОКОРЕФРАКТИВНЫХ СТРУКТУР НА ОСНОВЕ ЗОЛЯ TiO2
- ВЛИЯНИЕ ВОДОРОДНОЙ ОБРАБОТКИ ОПТИЧЕСКОГО ВОЛОКНА НА ЭФФЕКТИВНОСТЬ ЗАПИСИ В НЕМ ЧИРПИРОВАННЫХ РЕШЕТОК БРЭГГА ИЗЛУЧЕНИЕМ KrF ЭКСИМЕРНОГО ЛАЗЕРА
- АЛГОРИТМ КОМПЕНСАЦИИ МУЛЬТИГАРМОНИЧЕСКИХ ВОЗМУЩЕНИЙ В ЛИНЕЙНЫХ СИСТЕМАХ С ПРОИЗВОЛЬНЫМ ЗАПАЗДЫВАНИЕМ: МЕТОД ВНУТРЕННЕЙ МОДЕЛИ
- ЛЮМИНЕСЦЕНТНЫЕ СВОЙСТВА КЛАСТЕРОВ СЕРЕБРА, СФОРМИРОВАННЫХ МЕТОДОМ ИОННОГО ОБМЕНА В ФОТО-ТЕРМО-РЕФРАКТИВНОМ СТЕКЛЕ
- ПОЛУЧЕНИЕ ТОЛСТЫХ СЛОЕВ НИТРИДА ГАЛЛИЯ МЕТОДОМ МНОГОСТАДИЙНОГО РОСТА НА ПОДЛОЖКАХ С КОЛОННОЙ СТРУКТУРОЙ
- ОСОБЕННОСТИ ПРОВЕДЕНИЯ ИЗМЕРЕНИЙ В ЖИДКИХ СРЕДАХ МЕТОДОМ АТОМНО-СИЛОВОЙ МИКРОСКОПИИ
- ИСПОЛЬЗОВАНИЕ В СИСТЕМАХ АВТОМАТИЧЕСКОГО РАСПОЗНАВАНИЯ РЕЧИ GMM-МОДЕЛЕЙ ДЛЯ АДАПТАЦИИ АКУСТИЧЕСКИХ МОДЕЛЕЙ, ПОСТРОЕННЫХ НА ОСНОВЕ ИСКУССТВЕННЫХ НЕЙРОННЫХ СЕТЕЙ
- НЕЧЕТКОЕ ОТОБРАЖЕНИЕ В СИСТЕМЕ СОНИФИКАЦИИ ДАННЫХ БЕСПРОВОДНОЙ СЕНСОРНОЙ СЕТИ
- АРХИТЕКТУРА ИНТЕГРИРОВАННОЙ ИНФОРМАЦИОННОЙ СИСТЕМЫ, ОБЕСПЕЧИВАЮЩАЯ СВОЙСТВО ПОВЕДЕНИЯ
- АВТОМАТИЗАЦИЯ ПОДБОРА ОПТИМАЛЬНОЙ ДИСЦИПЛИНЫ ОБСЛУЖИВАНИЯ ПРИ ПЕРЕДАЧЕ VОIP-ТРАФИКА
- ДИНАМИЧЕСКАЯ АВТОРИЗАЦИЯ НА ОСНОВЕ ИСТОРИИ НОВОСТНЫХ СООБЩЕНИЙ
- СТАТИСТИЧЕСКИЙ МЕТОД ИЗВЛЕЧЕНИЯ ТЕРМИНОВ ИЗ КИТАЙСКИХ ТЕКСТОВ БЕЗ СЕГМЕНТАЦИИ ФРАЗ
- ОПРЕДЕЛЕНИЕ МИКРОГЕОМЕТРИИ ФУНКЦИОНАЛЬНОЙ ПОВЕРХНОСТИ ДЕТАЛИ, ОБЕСПЕЧИВАЮЩЕЙ ТРЕБУЕМЫЕ ПОКАЗАТЕЛИ АВИАЦИОННОГО ДАТЧИКА ВИБРАЦИИ
- МОДЕЛЬ ПРОГНОЗИРОВАНИЯ РАСХОДОВ ДЛЯ ПЛАНИРОВАНИЯ ПРОЕКТНОЙ ДЕЯТЕЛЬНОСТИ ВУЗА
- ИМИТАЦИОННАЯ МОДЕЛЬ ВИРТУАЛЬНОГО КАНАЛА
- МЕТОДИКА ОЦЕНКИ УРОВНЯ КАЧЕСТВА МЕХАНИЧЕСКИХ ИЗДЕЛИЙ В ПРОЦЕССЕ ИХ ПРОЕКТИРОВАНИЯ
- АНТИФУНГАЛЬНАЯ АКТИВНОСТЬ ZnO, SiO2, Au И Ag АКРИЛОВЫХ НАНОКОМПОЗИТОВ
- РЕЗЕРВИРОВАНИЕ ПЕРЕДАЧ ЧЕРЕЗ АГРЕГИРОВАННЫЕ КАНАЛЫ, РАЗДЕЛЯЕМЫЕ НА ГРУППЫ
- ВЛИЯНИЕ ТОПОЛОГИЧЕСКОЙ СТРУКТУРЫ НА ДИНАМИКУ ТЕМПОРАЛЬНОЙ СЕТИ
- ПРЕДСКАЗАНИЕ ПИКОВ ЭПИДЕМИЙ ГРИППА В САНКТ-ПЕТЕРБУРГЕ С ПОМОЩЬЮ ПОПУЛЯЦИОННЫХ МАТЕМАТИЧЕСКИХ МОДЕЛЕЙ