Например, Бобцов

ИССЛЕДОВАНИЕ ПРЕДМЕТНОГО СТОЛИКА С БИМОРФНЫМИ ПЬЕЗОАКТЮАТОРАМИ

Аннотация:

Проанализированы варианты многокоординатных платформ приборов для микропозиционирования объектов. Предложен двухкоординатный предметный столик микроскопа с параллельной кинематикой и пьезоэлектрическим приводом на базе биморфных пьезоактюаторов. Приведены результаты экспериментальных исследований действующего макета столика и сделаны выводы по их использованию.

Ключевые слова:

Статьи в номере