Например, Бобцов

ИЗМЕРИТЕЛЬ ЭНЕРГИИ ИМПУЛЬСОВ ЭКСИМЕРНОГО ЛАЗЕРА НА ОСНОВЕ ФОТОЭЛЕКТРИЧЕСКОГО ЭФФЕКТА ПЛЕНОК ОКСИДА ИНДИЯ-ОЛОВА

Аннотация:

Рассмотрены вопросы измерения энергии импульсов эксимерного лазера. Целью работы является создание и исследование работы измерителя энергии импульсов на основе фотоэлектрического эффекта пленок оксида индия-олова. Предложена конструкция и электрическая схема фотоэлектрического измерителя. Проведено сравнение результатов многократных измерений энергии импульсов эксимерного лазера для измерителя на основе фотоэлектрического эффекта и коммерческого детектора на основе пироэлектрического эффекта. Показано, что погрешность измерений с помощью предлагаемого прибора не превышает погрешность измерений для пироэлектрического детектора. Обнаружено, что измеритель на основе фотоэлектрического эффекта обладает рядом преимуществ: он не подвержен влиянию механического воздействия, не требует установки нулевого уровня, менее чувствителен к влиянию температуры пластины чувствительного элемента. В работе определены границы диапазона энергий, в котором может работать чувствительный элемент измерителя. Продемонстрировано, что при плотностях энергий выше 78 мДж/см2 происходит разрушение поверхности под воздействием оптического излучения.

Ключевые слова:

Статьи в номере