Например, Бобцов

ИСПОЛЬЗОВАНИЕ МУАРОВОГО ЭФФЕКТА ДЛЯ УВЕЛИЧЕНИЯ ТОЧНОСТИ ДИФРАКЦИОННЫХ МЕТОДОВ КОНТРОЛЯ

Аннотация:

  Рассмотрены дифракционные методы контроля пространственного положения и геометрических пара-метров объектов с использованием муара, который возникает при наложении частотных спектров объек-та. Рассмотрены два способа образования муара: умножением частотных спектров и вычитанием частот-ных спектров. Показано, что использование муара позволяет увеличить чувствительность измерений на порядок.

Ключевые слова:

Статьи в номере