Например, Бобцов

Исследование конфокального оптоэлектронного микроскопа для измерения мер малой длины

Аннотация:

В настоящее время появилась необходимость в измерении микро- и наноструктур. С развитием технологий потребовалась высокая точность в изготовлении различных элементов приборов (например, материнских плат в компьютерах, микрочипов, эталонных мер для микроскопов и т.д.).

Ключевые слова:

Статьи в номере