Например, Бобцов

Оптические свойства шероховатой поверхности элементов оптоэлектроники

Аннотация:

В настоящей работе дано теоретическое обоснование применения теорий Друде-Борна и Релея-Райса для определения оптических характеристик шероховатой поверхности на неоднородной подложке. Показано, что методом эллипсометрии можно различать поляризационно-оптические свойства окисной пленки от микрорельефа поверхности.

Ключевые слова:

Статьи в номере