Например, Бобцов

Исследование влияния параметров процесса осаждения на формирование градиентных покрытий

Аннотация:

Рассмотрены вопросы, посвященные влиянию различных технологических факторов на распределение толщины слоев по поверхности подложки при формировании градиентных покрытий на оптических деталях с использованием оснастки, выполняющей перераспределение молекулярного потока испаренного пленкообразующего вещества от малого поверхностного испарителя.

Ключевые слова:

Статьи в номере