Например, Бобцов

Некоторые особенности деградации МОП-структур под действием γ-излучения

Аннотация:

Рассматриваются особенности деградации электрофизических параметров структур на основе металлокисел-полупроводник (МОП) при воздействии гамма-излучения Co60 в зависимости от условий термического окисления. Отмечается, что процессы деградации связаны с эффектами накопления зарядов различных знаков на дефектах границы Si-SiO2.

Ключевые слова:

Статьи в номере