Журнал
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики
УДК:
Номер:7 (23)
Скачать PDF0 Кбайт
ОСНОВЫ ТЕХНОЛОГИИ ГОЛОГРАФИЧЕСКОЙ СУБМИКРОННОЙ ФОТОЛИТОГРАФИИ
Аннотация:
Созданы основы принципиально новой технологии проекционной субмикронной голографической фотолитографии. Разработана схема записи и восстановления голограмм-проекторов предельного разрешения, используемых без дополнительного объектива; сформулированы и научно обоснованы требования, предъявляемые к ее геометрическим параметрам и режимам экспонирования голограмм; экспериментально показана пригодность применения этой схемы в задачах проекционной литографии.
Ключевые слова:
Постоянный URL
Статьи в номере
- РАЗВИТИЕ ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКОЙ КОНЦЕПЦИИ НАНОТЕХНОЛОГИИ ОРИЕНТАЦИИ ЖИДКИХ КРИСТАЛЛОВ
- ФАЗОВЫЙ РАСПАД И КРИСТАЛЛИЗАЦИЯ ЛИТИЕВОАЛЮМОСИЛИКАТНЫХ СТЕКОЛ С ДОБАВКОЙ ZrO2
- РАЗРАБОТКА И ИССЛЕДОВАНИЕ НОВЫХ АКТИВНЫХ СРЕД ДЛЯ ТВЕРДОТЕЛЬНЫХ UP-КОНВЕРСИОННЫХ И ИК ЛАЗЕРОВ
- ОПТИЧЕСКОЕ ПЕРЕКЛЮЧЕНИЕ И UP-КОНВЕРСИЯ В МАТЕРИАЛАХ С КВАНТОВЫМИ ЯМАМИ: ЭФФЕКТ ФОТОННОЙ ЛАВИНЫ
- ГОЛОГРАФИЧЕСКИЙ ПРЕДСКАЗАТЕЛЬ СЛУЧАЙНЫХ ПРОЦЕССОВ
- РАЗРАБОТКА ВИДЕОСПЕКТРАЛЬНЫХ ОСНОВ АЭРОКОСМИЧЕСКИХ МЕТОДОВ ДИСТАНЦИОННОГО ЗОНДИРОВАНИЯ В ОПТИЧЕСКОМ ДИАПАЗОНЕ
- 10 ГВТ ФЕМТОСЕКУНДНАЯ ЛАЗЕРНАЯ СИСТЕМА ФC-1 – УСТРОЙСТВО И ХАРАКТЕРИСТИКИ
- ИСПОЛЬЗОВАНИЕ ПАРАМЕТРОВ ТОНКИХ КОМПОНЕНТОВ ДЛЯ АВТОМАТИЗИРОВАННОЙ КОРРЕКЦИИ ОПТИЧЕСКИХ СИСТЕМ
- ЭКОНОМИЧНЫЙ МЕТОД ВЫЧИСЛЕНИЯ КОЭФФИЦИЕНТОВ ПОПЕРЕЧНЫХ АБЕРРАЦИЙ ТРЕТЬЕГО И ВЫСШИХ ПОРЯДКОВ
- МАТЕМАТИЧЕСКОЕ ПРЕДСТАВЛЕНИЕ ПРОЦЕССА ИЗМЕРЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ МАССОПЕРЕНОСА В ЖИДКОЙ БИНАРНОЙ СРЕДЕ С ГРАНИЦЕЙ РАЗДЕЛА
- ПРИМЕНЕНИЕ ФИЛЬТРА КАЛМАНА ВТОРОГО ПОРЯДКА ДЛЯ КОМПЬЮТЕРНОЙ ОБРАБОТКИ ИЗМЕРИТЕЛЬНОЙ ИНФОРМАЦИИ
- ПРИМЕНЕНИЕ ТЕОРИИ КООРДИНАЦИИ ДЛЯ УПРАВЛЕНИЯ КАЧЕСТВОМ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ СО СЛАБО ФОРМАЛИЗУЕМЫМИ КРИТЕРИЯМИ
- ПОСТРОЕНИЕ ВИЗУАЛИЗАТОРОВ АЛГОРИТМОВ ДИСКРЕТНОЙ МАТЕМАТИКИ
- VIZI — ЯЗЫК ОПИСАНИЯ ЛОГИКИ ВИЗУАЛИЗАТОРОВ АЛГОРИТМОВ
- РАЗРАБОТКА ТЕОРЕТИЧЕСКИХ ОСНОВ И РЕАЛИЗАЦИЯ МЕТОДОВ ПОСТРОЕНИЯ КОМПЬЮТЕРНЫХ СЕТЕЙ НА БАЗЕ IP-ПРОТОКОЛОВ НОВОГО ПОКОЛЕНИЯ
- КОНЦЕПЦИЯ СЕТЕВОЙ ИНФОРМАЦИОННО-ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЙ ТЕХНОЛОГИИ ДЛЯ РАЗРАБОТКИ РЕЗУЛЬТАТОВ ОБРАЗОВАНИЯ
- МЕТОДЫ И СРЕДСТВА ЗАЩИТЫ ИНФОРМАЦИИ В АВТОМАТИЗИРОВАННОЙ СИСТЕМЕ ЭЛЕКТРОННОГО ОБМЕНА СТАНДАРТИЗОВАННЫМИ МЕДИЦИНСКИМИ ДОКУМЕНТАМИ
- ПРИМЕНЕНИЕ НЕЙРОННОЙ СЕТИ ДЛЯ УПРАВЛЕНИЯ МОТОЦИКЛОМ