Например, Бобцов

АНАЛИЗ ТОЧНЫХ И ПРИБЛИЖЕННЫХ МЕТОДОВ РЕШЕНИЯ ОБРАТНОЙ ЗАДАЧИ ЭЛЛИПСОМЕТРИИ ДЛЯ НЕОДНОРОДНЫХ ПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЕВ

Аннотация:

Проведен анализ методов секционирования и математического моделирования при определении профиля показателя преломления неоднородного поверхностного слоя и многослойных неоднородных отражающих систем. Для экспоненциального оптического профиля поверхностного слоя внутрирезонаторных элементов ионных лазеров, выполненных из кварцевого стекла, дан анализ ошибок расчета поляризационно-оптических параметров поверхностного слоя по уравнению эллипсометрии в приближении Борна и обобщенному уравнению эллипсометрии в приближении Друде-Борна.

Ключевые слова:

Статьи в номере