Журнал
ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ «ПРИБОРОСТРОЕНИЕ»
УДК:681.7.069.225:537.53
Номер:6 (52)
Скачать PDF387 Кбайт
ВЫСОКОЭФФЕКТИВНЫЙ ИСТОЧНИК НЕПРЕРЫВНОГО ДАЛЬНЕГО ВАКУУМНОГО УЛЬТРАФИОЛЕТОВОГО ИЗЛУЧЕНИЯ ДЛЯ ОБРАБОТКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МАТЕРИАЛОВ
Аннотация:
Представлен новый дуговой источник мощного непрерывного дальнего вакуумного ультрафиолетового излучения, созданный на основе сильноточной плазмы пониженного давления, которая ранее использовалась в качестве актив- ной среды ионных аргоновых лазеров со сроком службы порядка 1000 ч.
Ключевые слова:
Постоянный URL
Статьи в номере
- КОРРЕКЦИЯ ТЕПЛОВИЗИОННЫХ ИЗОБРАЖЕНИЙ НА ОСНОВЕ СТАТИСТИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ РЕАЛЬНЫХ ДАННЫХ
- ПОВЫШЕНИЕ ЭФФЕКТИВНОСТИ ЛАЗЕРНОГО ЛОКАТОРА ОПТИЧЕСКИХ СИСТЕМ
- КАЛИБРОВКА ТЕЛЕВИЗИОННЫХ ДАТЧИКОВ ПРИ РАСПОЛОЖЕНИИ ИЗМЕРЯЕМЫХ ОБЪЕКТОВ В ТРУДНОДОСТУПНЫХ МЕСТАХ
- ПСЕВДОБИНОКУЛЯРНЫЙ ДВУХКАНАЛЬНЫЙ ПРИБОР ОБНАРУЖЕНИЯ ПОТЕНЦИАЛЬНЫХ УГРОЗ
- КОНЦЕПЦИЯ ПОСТРОЕНИЯ ОПТИКО-ЭЛЕКТРОННЫХ ПРИБОРОВ НАБЛЮДЕНИЯ УНИВЕРСАЛЬНОГО НАЗНАЧЕНИЯ
- ПСЕВДОЦВЕТНОЙ ОКУЛЯР ДЛЯ ПРИБОРОВ НОЧНОГО ВИДЕНИЯ
- ВНЕОСЕВЫЕ ОБЪЕМНЫЕ ГОЛОГРАММНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ ДЛЯ БЛИЖНЕГО ИНФРАКРАСНОГО ДИАПАЗОНА СПЕКТРА
- ИССЛЕДОВАНИЕ БАЗОВЫХ ДВУХЛИНЗОВЫХ КОМПОНЕНТОВ СВЕТОСИЛЬНЫХ ОБЪЕКТИВОВ, ПРЕДНАЗНАЧЕННЫХ ДЛЯ РАБОТЫ С СОВРЕМЕННЫМИ ЭЛЕКТРОННО-ОПТИЧЕСКИМИ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯМИ
- ХРОМАТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ОБЪЕКТИВА С ЗЕРКАЛОМ МАНЖЕНА В НЕСКОЛЬКИХ ДИАПАЗОНАХ СПЕКТРА
- СПОСОБ ПОСТРОЕНИЯ ОПТИЧЕСКОЙ СИСТЕМЫ С ДИСКРЕТНЫМ ИЗМЕНЕНИЕМ ФОКУСНОГО РАССТОЯНИЯ
- ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫЕ СВЕТОФИЛЬТРЫ С ПЕРЕСТРАИВАЕМОЙ ПОЛОСОЙ ПРОПУСКАНИЯ
- ЛАЗЕРНОЕ ФОРМИРОВАНИЕ НАНОРАЗМЕРНЫХ СТРУКТУР
- ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКИЙ КОНТРОЛЬ ПАРАМЕТРОВ ВЫРАЩИВАЕМЫХ НАНОРАЗМЕРНЫХ ГЕТЕРОСТРУКТУР