Например, Бобцов

Определение топографии двулучепреломления в кристаллах флюорита и исследование его влияния на качество изображения проекционных фотолитографических систем

Аннотация:

Рассмотрена установка для измерения характеристик остаточного двулучепреломления крупногабаритных оптических кристаллов флюорита методом скрещенных поляроидов. Приведена математическая модель предложенного метода. Анализируется функция рассеяния точки, описывающая влияние двулучепреломления на качество изображения.

Читать текст статьи

Ключевые слова:

Статьи в номере