Например, Бобцов

ОБ УСТОЙЧИВОСТИ ВОЛЬФРАМОВЫХ ЗОНДОВ ПРИ ФУНКЦИОНИРОВАНИИ СКАНИРУЮЩЕГО ЗОНДОВОГО МИКРОСКОПА В РЕЖИМАХ ДИНАМИЧЕСКОЙ СИЛОВОЙ ЛИТОГРАФИИ И НАНОИНДЕНТИРОВАНИЯ

Аннотация:

  Проведено исследование устойчивости вольфрамового зонда под действием продольного механического напряжения, возникающего при работесканирующего зондового микроскопав режимах динамической силовой литографии и наноиндентирования. В рамках предложенной теоретической модели получено выражение для критической силы продольного сжатия, превышение которой приводит к потере устойчивости и изгибу зонда. Представлены экспериментальные данные, полученные в сканирующем зондовом микроскопе с пьезорезонансным датчиком силового взаимодействия, демонстрирующие устойчивое и неустойчивое поведение вольфрамового зонда при наноиндентированиии динамической силовой литографии поверхности образца из поликарбоната.

Читать текст статьи

Ключевые слова:

Статьи в номере