Например, Бобцов

Использование явления муара для увеличения точности дифракционных методов контроля геометрических параметров и пространственного положения объектов

Аннотация:

Рассмотрен дифракционный метод контроля, позволяющий использовать фазовую составляющую измерительного сигнала, несущую данные о геометрической форме и пространственном положении объекта. Для повышения чувствительности и точности измерений была реализована оптическая система обработки информации, в которой контролируемый объект освещается двумя смещенными в пространстве пучками когерентного излучения. Это позволило ввести фазовый сдвиг между их частотными спектрами при изменении параметров объекта и получить в плоскости регистрации муар-интерференционные полосы, анализируя которые можно получить данные о контролируемом объекте. Дан пример использования метода для исследования формы профиля края объекта.

Читать текст статьи

Ключевые слова:

Статьи в номере