ИССЛЕДОВАНИЕ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ В УСЛОВИЯХ СТРУЙНОГО ДИАФРАГМЕННОГО РАЗРЯДА В ВАКУУМЕ
Аннотация:
Описан способ получения тонких слоев материала путем ионного легирования пред- варительно очищенной подложки в условиях струйного диафрагменного разряда в вакууме в магнитогазодинамическом режиме с электромагнитным способом ускорения полученных продуктов разряда. В качестве примера рассмотрена имплантация ионов углерода и фтора в поверхностный слой подложки из монокристаллического кремния с энергией ионов Еi = 37,4 кэВ. На основании анализа рентгеноэлектронных спектров показано, что легированный слой содержит помимо химических элементов из состава материала подложки (кремний Si 2p с энергией связи 99,5 эВ) химические элементы из плазмообразующего материала диафрагмы (углерод С 1s с энергией связи 285 эВ и фтор F 1s c энергией связи 686 эВ) с плавным уменьшением их атомной концентрации при увеличении расстояния от поверхности.
Ключевые слова:
Постоянный URL
Статьи в номере
- ПИКОСЕКУНДНАЯ ИК ЛАЗЕРНАЯ СИСТЕМА С ПЕРЕСТРАИВАЕМОЙ ДЛИНОЙ ВОЛНЫ ИЗЛУЧЕНИЯ НА ОСНОВЕ ГИБРИДНОГО СО2-ЛАЗЕРА
- ИССЛЕДОВАНИЕ ХАРАКТЕРИСТИК ИЗЛУЧЕНИЯ СКАНИРУЮЩЕГО ЛАЗЕРА С АКТИВНЫМ ЭЛЕМЕНТОМ YAG:Nd3+ ПРИ ЕГО НАКАЧКЕ ЛИНЕЙКАМИ ЛАЗЕРНЫХ ДИОДОВ И ЧАСТОТЕ СЛЕДОВАНИЯ ИМПУЛЬСОВ ДО 400 ГЦ
- ЭФФЕКТИВНЫЕ ПАРАМЕТРИЧЕСКИЕ ГЕНЕРАТОРЫ СВЕТА С ВНУТРИРЕЗОНАТОРНОЙ НАКАЧКОЙ ИЗЛУЧЕНИЕМ ЛАЗЕРА НА ГРАНАТЕ С ПАССИВНЫМ ЗАТВОРОМ
- КОРРЕКТИРОВКА ВЛИЯНИЯ “РАЗМЕРНОГО ЭФФЕКТА” НА ОЦЕНКИ ЛУЧЕВОЙ ПРОЧНОСТИ ПОВЕРХНОСТИ ЛАЗЕРНОГО СТЕКЛА
- УСКОРЕНИЕ МАКРОЧАСТИЦ ПИКОСЕКУНДНЫМ ЛАЗЕРНЫМ ИМПУЛЬСОМ
- ПОВЕРХНОСТНЫЕ ПЛАЗМОН-ПОЛЯРИТОННЫЕ МОДЫ И НАНОСТРУКТУРИРОВАНИЕ ПОЛУПРОВОДНИКОВ ФЕМТОСЕКУНДНЫМИ ЛАЗЕРНЫМИ ИМПУЛЬСАМИ
- МАЛОГАБАРИТНЫЕ СВЕТОСИЛЬНЫЕ ОБЪЕКТИВЫ ДЛЯ ИНФРАКРАСНОЙ ОБЛАСТИ
- ОПТИКО-ЛОКАЦИОННАЯ СИСТЕМА С КРУГОВОЙ ЗОНОЙ ПОИСКА: АЛГОРИТМ УПРАВЛЕНИЯ ИСПОЛНИТЕЛЬНЫМИ УСТРОЙСТВАМИ И ЕГО РЕАЛИЗАЦИЯ
- ВЫСОКОТОЧНОЕ УСТРОЙСТВО ПРОСТРАНСТВЕННОЙ ОРИЕНТАЦИИ ОБЪЕКТОВ
- МОЩНЫЙ ШИРОКОФОРМАТНЫЙ КВАЗИСТАЦИОНАРНЫЙ ИЗЛУЧАТЕЛЬ НА ТРУБЧАТЫХ КСЕНОНОВЫХ ЛАМПАХ
- ПОМЕХОЗАЩИЩЕННЫЙ ПИРОЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ КАЛОРИМЕТР ДЛЯ СПЕКТРАЛЬНО-ЭНЕРГЕТИЧЕСКИХ ИЗМЕРЕНИЙ В ВАКУУМНОМ УЛЬТРАФИОЛЕТЕ
- МОДЕЛЬ ПРОТЯЖЕННОГО АБСОЛЮТНО ЧЕРНОГО ТЕЛА ДЛЯ ПРОВЕДЕНИЯ ЭНЕРГЕТИЧЕСКОЙ КАЛИБРОВКИ ОПТИКО-ЭЛЕКТРОННЫХ ПРИБОРОВ ДИСТАНЦИОННОГО ЗОНДИРОВАНИЯ ЗЕМЛИ
- ТЕХНОЛОГИЯ АВТОМАТИЗИРОВАННОГО ФОРМООБРАЗОВАНИЯ ДЛЯ ПРОИЗВОДСТВА ОПТИЧЕСКИХ ЭЛЕМЕНТОВ