Статья Исследование структурных дефектов межслойной изоляции в КМОП ИС Халецкий Р. А., Скворцов А. М., Семенов А. Е., Новиков С. Н., Фролкова Е. Г.
Статья Исследование пробивных напряжений межслойной изоляции в КМОП ИС Фролкова Е. Г., Халецкий Р. А., Скворцов А. М., Семенов А. Е., Новиков С. Н.
Статья Исследование структур типа Siп/к -SiO2-Si с окислами, полученными в различных режимах окисления Халецкий Р. А., Скворцов А. М., Семенов А. М.
Статья Исследование МОП-структур с окислами, полученными при различных режимах окисления Семенов А. М., Халецкий Р. А., Скворцов А. М.
Статья ИССЛЕДОВАНИЕ НАНОКОМПОЗИТНЫХ СТРУКТУР НА ОСНОВЕ КРЕМНИЯ И ФОСФАТНОГО СТЕКЛА НА КРЕМНИЕВЫХ ПОДЛОЖКАХ Скворцов А. М., Стройков И. И.
Статья Химическое микроструктурирование поверхности монокристаллического кремния Скворцов А. М., Пилюгина Ю. А., Толмачев В. А.
Статья Микроструктурирование поверхности кремниевых пластин с помощью лазера Вейко В. П., Дышловенко С. С., Пилюгина Ю. А., Скворцов А. М.
Статья ПРИМЕНЕНИЕ ИМПУЛЬСНОГО ВОЛОКОННОГО ЛАЗЕРА ДЛЯ МИКРОСТРУКТУРИРОВАНИЯ СИСТЕМЫ SiO2/Si Скворцов А. М., Вейко В. П., Хуинь К. Т.
Статья Некоторые особенности деградации МОП-структур под действием γ-излучения Скворцов А. М., Халецкий Р. А.
Статья Исследование гистерезиса вольт-емкостных характеристик структур кремний-окисел с поликремниевым затвором при воздействии ионизирующего излучения Скворцов А. М., Соколов В. И., Халецкий Р. А.
Статья Деградация структур Si-SiO2 с поликремниевым затвором при гамма-облучении в зависимости от напряжения смещения Скворцов А. М., Соколов В. И., Халецкий Р. А., Смирнов Ю. В.
Статья Программно- аппаратный комплекс производственно-технологического контроля качества микро- и наноэлементной базы электроники Ткалич В. Л., Гатчин Ю. А., Коробейников А. Г., Папченко Б. П., Скворцов А. М.
Статья ВЛИЯНИЕ ПРОЦЕССА ЛАЗЕРНОГО МИКРОСТРУКТУРИРОВАНИЯ НА ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ СИСТЕМЫ SiO2/Si Скворцов А. М., Халецкий Р. А., Хуинь К. Т.
Статья МЕХАНИЗМ МИКРОСТРУКТУРИРОВАНИЯ СИСТЕМЫ SiO2/Si ПРИ ОБЛУЧЕНИИ СКАНИРУЮЩИМ ПУЧКОМ ИМПУЛЬСНОГО ВОЛОКОННОГО ЛАЗЕРА Скворцов А. М., Хуинь К. Т., Халецкий Р. А.
Статья НЕКОТОРЫЕ СВОЙСТВА КРЕМНИЕВЫХ СТРУКТУР, ПОЛУЧЕННЫХ ЛАЗЕРНЫМ МИКРОСТРУКТУРИРОВАНИЕМ Скворцов А. М., Дышловенко С. С., Погумирский М. В., Соколов В. И.
Статья ФОРМИРОВАНИЕ РЕГУЛЯРНОГО МАССИВА НАНОКЛАСТЕРОВ КРЕМНИЯ МЕТОДОМ ПРОЕКЦИОННОГО ЛАЗЕРНОГО ОБЛУЧЕНИЯ Скворцов А. М., Чуйко В. А., Туан Л. З., Тунг Ф. К.
Статья ФОРМИРОВАНИЕ МОРФОЛОГИИ СИСТЕМЫ SiO2/Si ПОД ДЕЙСТВИЕМ ИЗЛУЧЕНИЯ ЭКСИМЕРНОГО ЛАЗЕРА Хуинь К. Т., Скворцов А. М., Петров А. А.
Статья ЛАЗЕРНАЯ АБЛЯЦИЯ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ ПОД ДЕЙСТВИЕМ ИМПУЛЬСНО-ЧАСТОТНОГО ИЗЛУЧЕНИЯ ВОЛОКОННОГО ЛАЗЕРА Вейко В. П., Скворцов А. М., Хуинь К. Т., Петров А. А.
Статья МИКРОСТРУКТУРИРОВАНИЕ МОНОКРИСТАЛЛОВ КРЕМНИЯ ВОЛОКОННЫМ ЛАЗЕРОМ В РЕЖИМЕ ВЫСОКОСКОРОСТНОГО СКАНИРОВАНИЯ Скворцов А. М., Трифонова Т. А., Хуинь К. Т.