Например, Бобцов

Исследование продуктов лазерной абляции кремния в различных средах при облучении наносекундными импульсами волоконного лазера

Сборник тезисов
Конференция:IV Всероссийский конгресс молодых ученых
Раздел:Инженерные системы и приборостроение
Рубрика:Фундаментальные основы лазерных микро- и нанотехнологий
Год:2015

Исследование продуктов лазерной абляции кремния в различных средах при облучении наносекундными импульсами волоконного лазера

УДК:621.315.592

Аннотация

Интерес к нанокомпозитным структурам на основе кремния обусловлен перспективностью их применения при создании устройств кремниевой фотоники и устройств энергонезависимой памяти. Многообещающим методом получения наночастиц различных материалов является лазерная абляция (в том числе под слоем жидкости). В известных на сегодня работах для получения кремниевых наночастиц используются лазеры ультракороткой длительности, наносекундные Nd-YAG лазеры (третья гармоника, 355 нм), наносекундные эксимерные KrF лазеры (245 нм). Ввиду хорошо известных преимуществ волоконного иттербиевого лазера (таких как высокий КПД, надежность и простота в использовании, возможность генерации мощных наносекундных импульсов при высоких частотах повторения (~100 кГц)) представляет интерес оценка перспективности его применения для получения наночастиц кремния методом лазерной абляции. Таким образом, цель работы - исследование возможности формирования наночастиц кремния методом лазерной абляции в различных средах при облучении наносекундыми импульсами волоконного иттербиевого лазера, а также в исследовании зависимостей размеров полученных частиц от режимов облучения для выявления минимально достижимого размера частиц.

Материалы конференций