Например, Бобцов

ПРОСТРАНСТВЕННОЕ МИКРОСКАНИРОВАНИЕ ПОВЕРХНОСТИ ПЛОСКОПАРАЛЛЕЛЬНЫХ СТЕКЛЯННЫХ ПЛАСТИНОК ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫМ МЕТОДОМ

Аннотация:

Исследованы плоскопараллельные стеклянные пластинки для пространственного микросканирования поверхности интерференционным методом. Необходимость контроля качества оптических поверхностей для высокоточных оптических приборов и систем определяет актуальность работы. Представлен внешний вид интерферометра, приведены оптическая схема и технические характеристики прибора. В результате экспериментальных измерений получены интерферограммы поверхностей оптических плоскопараллельных пластинок с погрешностью не более 0,05λ. Получены зависимости коэффициента отражения от продольного и поперечного смещения поверхности. Графические зависимости показали, что все поверхности исследуемых образцов имели равномерные распределения в области от K = 19 до 20,2 %.

Ключевые слова:

Статьи в номере